6П2.15
А46


    Александров, Л. Н.
    Кинетика образования и структура твердых слоев [Текст] / Л. Н. Александров ; АН СССР. Сибирское отделение. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, 1972. - 227 с. - 1.34 р.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Физика -- радиоэлектронная аппаратура -- кристаллы -- твердые слои -- кинетика
Аннотация: Рассмотрены общие закономерности и методы расчета кинетики образования твердых слоев

Экземпляры всего: 1
2к (1)
Свободны: 2к (1)